等离子是物质存在的除固态，液态，气态之外的第四种状态，具有宏观度的电中性与高导电性。等离子体中含有大量活性电子，离子，激发态粒子和光子等。这些活性粒子和气体分子碰撞的结果，产生大量的强氧化性0，有机物分子被这些强氧化性的物质所氧化，降解为CO2和H2O。

等离子体的发生技术主要有：直流电晕放电法、脉冲电晕放电法、介质阻挡放电、表面放电，目前常见的放电反应器电晕放电和介质阻挡放电的气体压强为105Pa，电场强度分别为5×104和102-105，等离子体的产生采用的都是高压电场放电，对于一些废气的处理存在危险性。